!!!微細加工 {{div_begin class="facility"}} !!両面露光装置 CANON PLA-501+IRAS 2cm角小片〜4インチウェハまで露光可能 (設置場所:14号館1階クリーンルーム) {{ref_image PLA.jpg}} {{div_end}} {{div_begin class="facility"}} !!反応性イオンエッチング装置(共同設備) 立山マシン TEP-Xd 2cm角小片〜2インチウェハまでエッチング可能 (設置場所:14号館1階クリーンルーム) {{ref_image RIE.jpg}} {{div_end}} {{div_begin class="facility"}} !!スパッタリング装置(共同設備) FTS Corporation NFTS-3S-R 0601 2cm角小片をスパッタリング可能 (設置場所:14号館1階クリーンルーム) {{ref_image スパッタリング装置.jpg}} {{div_end}} {{div_begin class="facility"}} !!熱酸化炉 研究室製作装置 2cm角小片を熱酸化が可能 (設置場所:14号館1階クリーンルーム) {{ref_image 酸化炉2.jpg}} {{div_end}} {{br style="clear:both;"}} {{div_begin class="facility"}} !!XeF2ドライエッチング装置 サムコ株式会社 VPE-4F XeF2ドライエッチングが可能 (設置場所:14号館1階クリーンルーム) {{ref_image XeF2エッチング.jpg}} {{div_end}} {{div_begin class="facility"}} !!抵抗加熱蒸着装置 研究室製作装置 2cm角小片を抵抗加熱蒸着可能 (設置場所:14号館1階クリーンルーム) {{ref_image 蒸着器.jpg}} {{div_end}} {{br style="clear:both;"}} {{div_begin class="facility"}} !!3Dプリンタ  株式会社ムトーエンジニアリング Value 3D MagiX 3Dデータを出力可能 (設置場所:6号館305) {{ref_image 3Dプリンタ.jpg}} {{div_end}} {{div_begin class="facility"}} !!深堀エッチング装置(共同設備) 住友精密工業(株) MUC-21 2cm角小片〜4インチウェハまで深堀エッチング可能 (設置場所:東京大学 武田先端知ビル クリーンルーム) {{ref_image DRIE.jpg}} {{div_end}} {{br style="clear:both;"}} !!!評価・計測 {{div_begin class="facility"}} !!デジタルマイクロスコープ Keyence VHX-100 {{ref_image Keyence VHX-100.jpg}} {{div_end}} {{div_begin class="facility"}} !!顕微分光偏光計測システム テクノシナジ― DF-1037+CCS100 {{ref_image 顕微分光偏光計測システム.jpg}} {{div_end}} {{br style="clear:both;"}}