Equipments

 両面露光装置

CANON PLA-501+IRAS

2cm角小片〜4インチウェハまで露光可能

（設置場所：14号館１階クリーンルーム）

 反応性イオンエッチング装置（共同設備）

立山マシン TEP-Xd

2cm角小片〜2インチウェハまでエッチング可能

（設置場所：14号館１階クリーンルーム）

 スパッタリング装置（共同設備）

FTS Corporation　NFTS-3S-R 0601

2cm角小片をスパッタリング可能

（設置場所：14号館１階クリーンルーム）

 熱酸化炉

研究室製作装置

2cm角小片を熱酸化が可能

（設置場所：14号館１階クリーンルーム）

 XeF2ドライエッチング装置

サムコ株式会社　VPE-4F

XeF2ドライエッチングが可能

（設置場所：14号館１階クリーンルーム）

 抵抗加熱蒸着装置

研究室製作装置

2cm角小片を抵抗加熱蒸着可能

（設置場所：14号館１階クリーンルーム）

 ３Dプリンタ　

株式会社ムトーエンジニアリング　Value 3D MagiX

３Dデータを出力可能

（設置場所：6号館305）

 深堀エッチング装置（共同設備）

住友精密工業(株)　MUC-21

2cm角小片〜4インチウェハまで深堀エッチング可能

（設置場所：東京大学 武田先端知ビル クリーンルーム）

 デジタルマイクロスコープ

Keyence VHX-100

 顕微分光偏光計測システム

テクノシナジ― DF-1037+CCS100