CANON PLA-501+IRAS
2cm角小片〜4インチウェハまで露光可能
(設置場所:14号館1階クリーンルーム)
立山マシン TEP-Xd
2cm角小片〜2インチウェハまでエッチング可能
(設置場所:14号館1階クリーンルーム)
FTS Corporation NFTS-3S-R 0601
2cm角小片をスパッタリング可能
(設置場所:14号館1階クリーンルーム)
研究室製作装置
2cm角小片を熱酸化が可能
(設置場所:14号館1階クリーンルーム)
サムコ株式会社 VPE-4F
XeF2ドライエッチングが可能
(設置場所:14号館1階クリーンルーム)
研究室製作装置
2cm角小片を抵抗加熱蒸着可能
(設置場所:14号館1階クリーンルーム)
株式会社ムトーエンジニアリング Value 3D MagiX
3Dデータを出力可能
(設置場所:6号館305)
住友精密工業(株) MUC-21
2cm角小片〜4インチウェハまで深堀エッチング可能
(設置場所:東京大学 武田先端知ビル クリーンルーム)