岩見グループでは、プラズモニクスという学問と、そのMEMS/NEMSへの応用を研究しています。マイクロ・ナノ加工技術をベースとして、電子ビームリソグラフィや太陽エネルギ変換素子などへの応用を展開します。詳細は、下記のPDF配布資料iwamilab.pdf(2887)をご覧ください。

研究目標

研究分野

MEMS/NEMSって?

　MEMS・NEMSとは、マイクロ・ナノスケールのセンサ・アクチュエータ・電子回路等の様々な要素を一つに集積化したデバイスの総称です。MEMSは、Microelectromechanical Systemsの略語で、日本語にすれば「微小電気機械システム」です。同様に、NEMSはNanoelectomechanical Systemsの略になります。

　具体的なMEMSの例として有名なのは、インクジェットプリンターのヘッドや加速度センサ、DMDと呼ばれるミラーなどです。これらのデバイスは、半導体加工技術をもとにした一括微細加工(マイクロマシニング)という方法で製作され、さまざまな要素を高度に組み合わせて集積化することができます。MEMSデバイスは様々な要素の集積化により、

大幅な製品の小型化が実現できること
これまでにない画期的な機能を実現すること

が可能です。このことから、MEMSは21世紀における新たな「産業のコメ」として注目されています。

　NEMSはMEMSよりもさらに小さい構成要素からなる素子です。加工精度の向上やカーボンナノチューブなどの新たな材料によって、ナノスケールの世界が開かれてきました。現状では市販レベルの製品には結びついていませんが、超高感度センサや超微細加工、量子機械素子などの先端研究分野で大きな期待が持たれています。